深城，南方光學，這是一家仙女山控股投資創辦的企業，在收購了一家頗有曆史的光學企業之後，大力招攬光學領域的人才。

依托國內現有的一些供應鏈，南方光學在去年的時候先是搞定了可商用的I-LINE光刻機的光源係統，隨後去年又搞定了KRF光源係統，協助海灣科技搞出來了KRF光刻機，並進行了商用化。

目前正在進行DUV乾式光刻機所需要的ARF光源係統的研發。

如今的南方光學，已經迅速成長為國內光學領域裡的龍頭企業，其實力已經超過了國內其他的一些光學企業。

但是即便如此，技術積累也嚴重不足，搞ARF光源的時候遇到了無數的麻煩，不久前的光源測試又失敗了。

這讓南方光源的一群核心研究人員愁眉不展！

“這麼下去不行啊，我們的研發進度已經拖延了不少，海灣科技那邊都已經把機台搞出來了，就等著我們的光源呢。”

“上一次的測試失敗，關鍵還是材料問題，其中的幾種材料因為性能參數太低，我們不得不采用了多種折衷的辦法來實現設計效果，但是繞了太多彎路，導致整個係統太複雜，故障率也是水漲船高！”

“這樣的光源係統看似是做出來了，但是根本沒辦法用於商用！”

而就在這個時候，南方光學的科研老大，來到了仙女山控股總部公司裡，看到了一枚小小的閃存芯片。

隨後打開，並輸入了複雜密碼對內部儲存的文件進行了解密後，這個負責人眼睛都呆住了。

“這些資料從哪裡來的？”

“這是EUV光源係統的整體設計啊，而且還如此的詳細，涉及到了每一項零配件的詳細參數！”

“還有這個ARF光源係統，這不就是ASML現在的DUV光刻機上用的光源係統嘛？你們怎麼弄來的這這些資料啊？”

仙女山控股過來送資料的人道：“彆問我，我也不知道，我勸你最好也彆問，很多事知道的太多對你沒什麼好處！”

“讓你過來，是讓你充當顧問，指導我們對文件進行刪改，隻要要把這些同行公司的名稱給刪除了，不然直接拿去給技術人員看，影響不太好！”

“沒問題，我保證把文件刪改的讓人看不出來明顯痕跡，不過這技術特征太明顯了，這要是原樣做出來的話，稍微懂行的人都能看出來我們是抄的！”

“那就是抄的唄，國內的DUV光刻機多了去，我們拆開幾台看看，抄一抄也是很正常的！”

不用多久，經過了初步整理的資料被送到了南方光學，並陸續以各種名義分批，分批發放部分ARF光源係統的研發資料。

問就是公司機密，彆問那麼多。

然後南方光學在ARF光源領域的研發瞬間提速……當然，就算是提速了也不可能一下子就把成熟可用的ARF光源係統弄出來，其中不少是涉及到原料的難點，人家給的資料隻是告訴你用什麼材料做，材料要達到什麼性能。

但是材料怎麼來的……這就需要南方光學自己要麼自己研發，要麼滿世界尋找供應商了。

“目前DUV光刻機的研發還是比較順利的，也許今年夏天的時候我們就能夠做出來第一台的樣機，如果沒有出現什麼大問題的話，秋天的時候我們就能嘗試做幾台交付智雲微電子那邊進行測試，明年就能進行大規模量產！”

海灣科技的總經理王道林，心情很不錯的出現在柳河投資的董事長辦公室裡，一邊泡著茶一邊道：“徐董你大可放心，本來我對這個DUV乾式光刻機項目多少還有些信心不足，不過最近一年來各子係統的推進進展非常順利，光源係統的南方光學已經給我打了包票，說他們最遲在六月份就交付第一套的ARF光源係統，這套光源係統是波長193納米的，而且不是之前的那種測試用的光源，而是可以直接使用的光源！”

“北林精密的雙工作台做起來雖然難一些，做起來的性能參數不如國外同類產品，但是勉強也可以用！”

“其他的幾個子係統如今大多也做的差不多了，就等著光源那邊搞定，然後我們就嘗試搞一台樣機出來了！”

徐申學麵帶微笑聽著，時不時喝口茶：“這是大好事啊，有了這個DUV乾式光刻機，那麼智雲半導體那邊的六十五納米工藝節點也就有了自家的光刻機可用了！”

“加油乾，光刻機乃是半導體產業鏈裡的核心設備，儘快搞出來，此外其他的一些關鍵設備也不能落下，記得我們的目標，不是單純的光刻機，而是整條生產線上的關鍵設備。”

“能搞的都要搞，搞不了的也要強行搞，我們要的不是一台孤零零的光刻機，而是一整套的先進工藝芯片生產線，所以其他的幾種關鍵設備也要儘快進度。”

王道林道：“明白的，我們海灣科技裡的項目是非常多的，前道光刻機也隻是我們公司裡的其中一個重要項目而已，我們在後道光刻機領域上也進展非常快，已經大量給智雲微電子乃至其他一些芯片廠商供貨了，而且我們的後道光刻機技術推進非常快速，已經迭代了第三代，我們的第三代後道光刻機，甚至都可以滿足三十二納米乃至潛在更低的二十八納米製程工藝的生產了，並且在生產效率上並不會比國外同類產品差。”

“同時我們的成本更低，售價更低，維護以及耗材費用也更低，在市場上具有很不錯的競爭力。”

“甚至是一些國外的芯片工廠已經開始谘詢我們，嘗試采購我們的第二代或第三代後道光刻機了！”

“然後還有蝕刻機項目、離子注入機這兩項關鍵設備，也是我們公司的重點項目，我們都已經研發出來了第一代產品，並供應給了智雲微電子那邊用於低製程工藝生產！”

“目前智雲微電子那邊的130納米節點以上的落後工藝的多種關鍵設備，都已經轉為采購我們海灣科技的設備了，整體來說我們的這兩種設備還處於第一代，效率上差一些，故障小毛病也多，但是我們的出貨價更便宜，隻有進口產品的幾分之一的價格，後續維護、零配件的價格也更便宜，因此算到最後的芯片生產成本上，大概能夠做到和進口設備的生產線持平！”